晶圆清洗机管接头的渗漏监测方案
发布时间：2025-09-17
来源：中国自动化网
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应用
传感器
半导体
检测
报警
液体
/O系统
晶圆清洗机
导读：
客户期待在晶圆清洗设备内的液体化学存储罐的管接头处安装高灵敏度且抗腐蚀性强的泄漏检测传感器，以便在液体泄漏的初期就能及时发现并报警，避免因强酸、强碱液体泄漏对设备产生腐蚀。
【行业】电子
【设备】半导体晶圆清洗设备
【用途】用于检测清洗设备内部的结露和周围的漏液
检测半导体晶圆清洗设备内部液体化学存储罐的管接头处的漏液。
■ 客户期待在晶圆清洗设备内的液体化学存储罐的管接头处安装高灵敏度且抗腐蚀性强的泄漏检测传感器，以便在液体泄漏的初期就能及时发现并报警，避免因强酸、强碱液体泄漏对设备产生腐蚀。
■ 客户此前使用人工巡检的方法检测漏液，造成人工成本的上升且无法做到第一时间发现漏液。
■ 漏液检测带有高度的抗化学品腐蚀能力。电极采用SUS316，绝缘薄层采用聚乙烯，提高了耐酸碱性。
■ 采用交流方式向检测带供给信号，安全不触电。
■ 将检测带缠绕在管接头处等有可能漏液的部位上检测漏液，无需通过人工巡检。
■ 从50MΩ电阻液体到普通水都能稳定检测。可设定4级检测范围，能够根据液体特性检测。
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