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LINE-TECH M3100VA气体质量流量控制器

分类：气体流量计
品牌：LINE-莱茵
厂商：仁荷泰可（北京）科技有限公司
型号：M3100VA
相关行业：

发布时间：2013-07-20 19:31
浏览人数：人

产品详情

韩国原装进口数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
　　溅射、镀膜加工、精密半导体行业、食品及制药产业、包装设备、气调保鲜设备、生物工程、分离萃取、实验装备、催化设备、定量给料、燃料电池、细胞培养、电子束蒸发系统、化学气相沉积、气相色谱等
型号：M3100VA
量程范围：30~100 SLPM
精准度：±1 %
耐压＜70 公斤
响应时间＜2秒
数字通信：无
测量质量流量
不需要温度、压力补偿
紧凑的流量控制系统

【各项技术参数】

Model	M3100V	M3100A
流量范围(N2)	30slpm ~ 100slpm	30slpm ~ 100slpm
响应时间	≤2 sec	≤2 sec
精准度	≤±1% FS	≤±1% FS
重复精度	±0.25% FS	±0.25% FS
输入/输出信号	0~5 Vdc	0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压	≤70 bar	≤70 bar
工作环境温度	0~50 °C	0~50 °C
漏率	1*10E-9 atm cc/sec	1*10E-9 atm cc/sec
使用范围	2 ~ 100%	2 ~ 100%

联系方式

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公司名称：仁荷泰可（北京）科技有限公司
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