BROOKS 5850E型流量控制器能精确的测量和控制气体流量。其核心是一个可拆卸的测量气体流量的探头，该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。

操作原理 
BROOKS流量控制器运用热动力学原理，一个有精确电源的加热器为内有连续稳定气流的 传感器套管的中部加热，在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。 没有气流时，到达两个温度测量元件的热量是相等的：有气流时则气流带走热量，两温度 测量元件就有了温度差异，温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电 路来反映，然后放大装置，以0－5V的输出电压输出到控制电路。 
在无流量的情况下，热量会均匀的分散在每个温度元件中，随着流量的增加，流体带着 热量从上游（该处温度为T1）到达下游，则下游温度上升（该处温度为T2），不同的温度上升通过两处元件显示，这种差异均衡的计量了气流或流速，电路显示温度的不同而放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制精确电磁阀。当设定值低于2％时，控制阀完全关闭，控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制精确电磁阀。当设定值低于2％时，控制阀完全关闭，控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。