· AWM43300V高共模压力高稳定性带放大气体质量流量传感器
产品介绍:AWM40000系列气体质量流量传感器包括不带放大和放大信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000气体质量流量传感器
相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000气体质量流量传感器相同的电路。
· 技术信息:
· AWM43300V气体质量流量传感器特点:
●多个集中安装/O 形密封圈
●陶瓷流量管(无引气管),0-1000sccm
●塑料流量管(无引气管),0-6SLPM
●高共模压力(150psi)
●工作温度可至125˚C
● 零点和满量程高稳定性
· 图2 WM43300V气体质量流量传感器传感桥路供电电路
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· AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:
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AWM42150VH
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AWM42300V
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AWM43300V
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AWM43600V
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流量范围(满量程)
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±25sccm
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±1000sccm
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+1000sccm
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+6LPM
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输出电压@ 标定点
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8.5±1.5mV @25sccm
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54.7±3.7mVDC @1000sccm
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5±0.15VDC @1000sccm
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5±0.15VDC @6LPM
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零点电压
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0.0±1.0 mV DC
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0.0±1.0 mV DC
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1.00±0.05VDC
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1.00±0.05VDC
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零点漂移+25~-25˚C +25~85˚C
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±0.20mV DC
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±0.20mV DC
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±0.025VDC
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±0.025VDC
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输出电压漂移+25~-25˚C +25~+85˚C
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+2.5% 读数(典型值) -2.5% 读数(典型值)
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±2.5% 读数(最大值) +6% 读数(最大值)
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-5% 读数(最大值) +6%读数(最大值)
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-5% 读数(最大值) +6% 读数(最大值)
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重复性& 迟滞
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±0.35% 读数
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±1.00% 读数
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±0.5% 读数
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±1.00% 读数
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压降@ 满量程(in H2O)
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1.50(典型值)
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1.02(典型值)
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8.00(典型值)
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Min Typ. Max.
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电源(VDC)
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8.0 10±0.01 15 (2)
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功耗(mW)
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50 60
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反应时间(ms)
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1.0 3.0 (1)
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共模压力(psi)
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150
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输出负载
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NPN(电流沉):10mA PNP(电流源):20mA
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标定气体
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氮气(AWM42150VH 为氢气)
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比率变化量
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±0.3% 读数
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工作温度
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-25~85C
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储存温度(˚C)
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-40~90C
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冲击
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100g峰值(5drops,6axis)
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· 注:1、从10%~90% 反应时间一般1 毫秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、最大的防止损坏的流量变化量:5LPM/1.0sec
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