AWM5101V气体质量流量传感器在线测量
AWM5101V气体质量流量传感器为文丘里流量管形外壳，可以测量最高至5 升/ 分钟。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
AWM5101V气体质量流量传感器采用坚固，通用的封装形式，该流量传感器坚固，塑料的封装能承受50psi的共模压力，内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下，两个测量孔是单独模件，可在最小的模具花费下根据实际更改，插入式AMP 连接器提供十分可靠的连接。
AWM5101V气体质量流量传感器内置的信号处理电路
AWM5101V，每个气体质量流量传感器产品都包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定，气体标定通过激光校整得到。
图1 AWM5101V气体质量流量传感器发热器控制电路
R1• 3.3K R2• 5.OK R3• 1.82K R4• 24.9K R5• 24.9K R7• 200K R8• 32K R9• 6.0K R11• 10K R12• 400K R13• 3.5K R14• 5K R15• 5K R16• 400K R17• 400K R18• 9K R19• 1K Ra• 500
Rb• 3.0K Rc• 1.0K Rf• 6.0K
图2 AWM5101V气体质量流量传感器传感桥电路和放大线性电路
AWM5000系列气体质量流量传感器技术规格
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AWM5101
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AWM5102
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AWM5103
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AWM5104
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流量范围
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0-5 SLPM
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0-10 SLPM
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0- 15 SLPM
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0-20 SLPM
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后缀-标定气体
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VA-氩气（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮气（N2）
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Min Typ Max
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推荐供电电源VDC
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8.0 10±0.01 15
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功耗（mW）
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100
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反应时间（mA）
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60
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零点输出VDC
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0.95 1.00 1.05
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零点漂移，VDC -20~70˚C
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±0.050 ±0.200
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最大共模压力psi
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50
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温度范围
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-20~+70˚C
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冲击指标
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100g峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向）
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输出@ 较整点
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5VDC@ 满量程流量
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压差@ 满量程
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参照压力& 气流表
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满量程输出漂移+20˚~-25˚C +20˚~70˚C
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后缀VA 或VN ±7.0% 读数，VC ±10.0% 读数
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线性误差
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±3.0% 读数
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迟滞& 重复性
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±0.5% 读数
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连接器（4pin receptacle)
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AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143）
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泄漏max
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0.1psi/min,在静态中
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注：1、供电电压除10.00±0.01VDC 外，不保证标定值。
2、线性误差适用于2-100% 满量程，但不适用0 LPM 时零输出
3、在50psi 内压下，AWM5000 系列每分钟泄漏小于0.1psi，如果安装时，相对于流量管的连接器被扭转，将会破坏O 形圈和流量管之间的密封，引起暂时汇漏，可高达1psi，也可能在指标内，换上新O 形圈后，密封恢复，大约85% 的泄漏在24 小时内消除，48 小时内，可完全恢复。