技术参数
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一
响应时间 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 满量程（除 204A 型）；
---------± 1.5% 满量程（ 204A 型）
重 复 性 ： ± 0.2% 满量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程）
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃
最大操作压力 ： 3000PSIG （ 20MPa ） ，具体请参考表一
零点漂移： ± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移 ： ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移 ： 0.1%/atm （相对于 N 2 ）
安装方向 ： 对位置不敏感
预热时间 ： 10 分钟
电气连接 ： 卡式 （ 20 针）或 D 型（ 9 针）
设定点输入流量信号输出 ：0-5VDC/0-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
-------------------------0-10VDC/0-10VDC （最小负载电阻 3K Ω ）；
-------------------------1-5VDC/1-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
-------------------------4-20mA/4-20mA （请参考下面的说明）；
-------------------------1-5VDC/4-20mA （请参考下面的说明）
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻：
环路电压为 6.5-15VDC 时： 0-450 Ω
环路电压为 15-30VDC 时： 200-750Ω
供应电源 ：
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC
电流消耗：＜ 250mAdc
重 量 ：请参考表一

结构材质;

主体： 316SS
传感器组件 ： 316LSS
孔： 316SS
阀构成部件 （接液）：
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型）
密封材质（” O ”型环和阀座）：
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton （ 202A 、 203A 和 204A 型）
过程连接： 316SS
----------------------------------表 一

型 号  流量范围 最小 / 最大
（ N 2 标定）
 最大操作压力PSIG （ MPa ）
 重 量lbs （ Kg ）
 
201
 0-5SCCM/0-10SLPM
 1000 （ 6.9 ）
 1.2 （ 0.54 ）
 
202
 0-10SLPM/0-100SLPM
 1000 （ 6.9 ）
 4.1 （ 1.86 ）
 
221
 0-5SCCM/0-10SLPM
 3000 （ 20.7 ）
 4.1 （ 1.86 ）
 
222
 0-10SLPM/0-100SLPM
 3000 （ 20.7 ）
 4.1 （ 1.86 ）
 
251
 0-10SLPM/0-50SLPM
 1000 （ 6.9 ）
 1.4 （ 0.64 ）
 
202A
 0-10SLPM/0-100SLPM
 200 （ 1.4 ）
 5.1 （ 2.31 ）
 
203A
 0-100SLPM/0-500SLPM
 200 （ 1.4 ）
 10.9 （ 4.94 ）
 
204A
 0-500SLPM/0-100SLPM
 200 （ 1.4 ）
 10.9 （ 4.94 ）
 

订货时须提供以下信息：

1 、产品型号
2 、电气接口
3 、设定点输入 / 流量信号输出
4 、密封材质（阀座 / “ O ”型环）
5 、接口尺寸和类型
6 、流量范围
7 、介质（气体类型）
8 、工作温度
9 、入口压力 P1
10 、出口压力 P2
11 、标定温度（如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ ）
12 、其它要求