技术参数
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一
响应时间 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 满量程（除 114 型）； ± 1.5% 满量程（ 114 型）
再 现 性 ： ± 0.2% 满量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程）
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃
最大操作压力 ： 3000PSIG （ 20MPa ） ，具体请参考表一
零点漂移：± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移： ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移： 0.1%/atm （相对于 N 2 ）
安装方向： 对位置不敏感
预热时间： 10 分钟
电气连接： 卡式（ 20 针）或 D 型（ 9 针）
流量信号输出：
0-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
0-10VDC （最小负载电阻 3K Ω ）；
1-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
4-20mA （请参考下面的说明）；
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻：
环路电压为 6.5-15VDC 时： 0-450 Ω
环路电压为 15-30VDC 时： 200-750Ω
供应电源 ：
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC
电流消耗：＜ 45mAdc
重 量 ：请参考表一
结构材质
主 体： 316SS
传感器组件 ： 316LSS
密封材质（” O ”型环）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ? ， Neoprene ， Viton?
过程连接： 316SS

表 一 型 号
 流量范围（ N 2 标定）
最小 / 最大
 最大操作压力 PSIG （ MPa ）
 重 量 lbs （ Kg ）
 

111
 0-5SCCM/0-10SLPM
 1500 （ 10.3 ）
 0.9 （ 0.41 ）
 
112
 0-10SLPM/0-100SLPM
 1500 （ 10.3 ）
 2.1 （ 0.95 ）
 
113
 0- 100SLPM /0-500SLPM
 1500 （ 10.3 ）
 5.2 （ 2.4 ）
 
114
 0-500SLPM/0-1000SLPM
 1500 （ 10.3 ）
 6.6 （ 3.0 ）
 
121
 0-5SCCM/0-10SLPM
 3000 （ 20.7 ）
 0.9 （ 0.41 ）
 
122
 0-10SLPM/0-100SLPM
 3000 （ 20.7 ）
 2.1 （ 0.95 ）
 
123
 0-100SLPM/0-500SLPM
 3000 （ 20.7 ）
 10.8 （ 4.9 ）
 

订货时须提供以下信息：
1 、产品型号
2 、电气接口
3 、流量信号输出
4 、密封材质（阀座 / ” O ”型环）
5 、接口尺寸和类型
6 、流量范围
7 、介质（气体类型）
8 、工作温度
9 、入口压力 P1
10 、出口压力 P2
11 、标定温度（如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ ）
12 、其它要求