美国BESTACE公司最近推出7系列流量产品,包括70系列气体质量流量计和71系列气体质量流量控制器。
7系列均采用热式测量原理,即利用流动中的气体与热源之间热量交换关系来测量流量,具有精度高、灵敏性好、量程范围宽、量程比大等特点。
7系列最大的特点是具有很好的性价比,在其设计制造过程中,美国BESTACE努力改进,采用最先进的技术,在保证产品性能的同时尽量降低其生产成本。
7系列的量程范围可以从0-10SCCM到0-100SLPM,精度为±1%FS,重复性为±0.15%FS,可选输出信号0-5VDC或4-20mA。
7系列标定均使用目前最精确的NIST校准标准,在宽泛的气体选择环境中进行标定,以确保产品精度。
7系列以其卓越的性价比以及坚固、使用方便等特点,非常适合于应用在实验室和工业领域。 技术参数:
流量范围: 0 - 10SCCM 到0 - 100SLPM 精 度: ± 1% FS ( 包括线性) 重 复 性 ± 0.15% FS 或更好 量 程 比 100 :1 响应时间 1 second 预热时间 5分钟 接液材质 Delrin®, 440 SS and 316 SS 弹 性 体 Viton®, Buna or KalRez® 输出信号 0 - 5VDC 线性或 4 - 20mA 线性 输入电源 标准: 24VDC 可选: +12 或 15VDC 115VAC, 220VAC @ 500mA 控制信号 内置本地控制按钮或0-5VDC 电气连接 D型(9针) 安装方向 对位置不敏感 工作温度 0-65℃(32-150℉) 环境温度 0-65℃(32-150℉) 过程连接 1/4”FNPT, 1/2”FNPT, 1/4”compression或3/8”compression控 控制阀 电磁阀 最大压力 Delrin: 250psig 温度飘移 0.05% Full Scale 每 1℃ 或更好 压力漂移 0.01% Full Scale 每 PSI 或更好订购时需提供: 1. 产品型号 ( MFM : 70系列 ; MFC : 71系列 ) 2. 介质(气体类型) 3. 流量范围 ( 0 - 10 SCCM 到 0 - 100 SLPM ) 4. 输出信号类型 (0 - 5 VDC 或 4 - 20 mA) 5. 输入电源 [ 12 VDC ( 仅流量计 ), 15 VDC,24 VDC,115 VAC 或 220VAC ] 6. 接口 ( 1/4” FNPT,1/2” FNPT,1/4 ” compression or 3/8” compression ) 7. 显示 ( 带LCD 或 不带LCD)
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