应用材料公司生产的硅片切割设备－－HCT线锯已经成为现如今比较经典的切割硅片的代表设备，无论从切割产能还是从切割稳定性，HCT都具有一定的优势。但是在日常操作中，不免出现一些报警，本文通过对HCT线锯日常的报警进行汇总并提出相应的处理方法，以方便大家在今后遇到相同的问题可以轻而易举解决。
1、锥形轴未完全"松开"
此报警是设备激光测距不准造成的，打开机床绕线室门将法兰和所对激光擦拭干净即可。如图（一）所示
图（一）
2、冷却水压力低报警
冷却水压力低是机床冷却部分所供不足造成的，将冷却水补水阀门。（在机床右侧顶部冷却系统处，将三个阀门打开，将压力加大到3bar既可消除）
3、接低报警
接低报警分为三种：一种是中间电压低，二是两边电压低。
中间电压低多数是由于护板不合适所造成的；两边电压低有可能是周围存在着钢线或金属等杂物，又或是掉片引起的，只要将机床杂物或掉片清理干净即可。
4、230v电源断路器跳闸
在后面电器柜中有四个黑包开关，将第二个开关合上既可消除报警，然后打开浆料，慢慢加速后点击切割开始按纽。
5、工作台应变仪报警
主要是因为工作台的实际转距大于设定值，只要进入高级密码后进入工作台界面把设定值改大于实际值即可，而后记得把所改值改回，然后开浆料慢慢加速后点击切割开始
6、锥形轴油压过低
将绕线室门锁上过几秒后就会自动消除，或是锥形轴的液压油缸缺少液压油，导致压力过低，无法弹出锥形轴进行排线。如图（二）所示
图（二）
7、双边碰触报警
将放线轴探头擦干净或是重新把排线单元调至合适位置。如图（三）所示
图（三）
8、1.5bar压缩空气报警
在马达室里有五路保护气体，最外面的是1.5bar压缩保护气体显示仪，只要将开关关上后重新打开即可消除。
9、8bar压缩空气报警
在B6机床右上方有一个总的气体开关，将其开闭后，在合上即可消除报警。
10、断路器跳闸
在电气柜上面有一个小电气柜，里面第二个开关就是断路器开关，只要将其合上即可消除报警。
11、sturry回流槽最大水平报警
可能是浆料过滤筒堵塞，这时需更换一个新的过滤桶，又或是热交换器堵了。等切割结束后清热交换器。
12、马达转动被锁定
该报警是在更换完放线轴后销子没有放在正确位置造成的，只要将销子放下即可，如图（四）所示。
图（四）
13、导轮滑动
可能是皮带松或断裂，检查或更换皮带。
14、扩音器报警
插头可能坏
15、工作台压力感应报警
上或下工作台加紧装置长时间打开造成的，关闭即可。取晶棒后要及时关闭上下工作台夹紧装置。
16、工作台油压低
工作台可能漏油，要仔细观察是否有漏油现象，此现象多是由于工作台长期打开造成的。如图（五）所示
图（五）
17、左右张力臂不在高位
找张力臂原点，使用张力臂工装对张力臂进行校准。
18、工作台位置已达上限
找原点后可再提升。
19、浆料插头松后或过热
（1）插头可能烧了
（2）可能过滤器筒堵
（3）回流泵电机可能卡死。反转一下就可以了。
20、浆料回流液位高
（1）液位计坏（2）液位计脏（3）热交换器堵（4）中转缸堵
21、浆料流量过低
（1）重新启动浆料变频器（2）可能是浆料电机口有异物堵塞。
22、浆料模块报警
（1）重新启动浆料变频器（2）更换变频器
23、回砂温度高
（1）可能热交换器堵导致砂浆不能顺畅打过，为了达到设置的流量值，导致浆料泵电机转速过高。（2）调整回砂电磁阀（3）清回砂冷却水滤芯
24、浆料回流泵转速过高
（1）可能热交换器堵导致砂浆不能顺畅打过，为了达到设置的流量值，导致浆料泵电机转速过高。（2）可能过滤器筒堵（3）检查液位计是否正常（4）浆料流理是否超出设定值
25、激光所测锥形绕线距离不正确：
（1）门没关好（2）锥形轴绕线过多（3）激光定位窗口或法兰未擦干净
总结：以上报警是HCT线锯切割中容易出现的报警，所有切割过程中的报警，必须先关闭导轮冷却水再处理，在报警消除后要打开，等到切割条件满足后手动慢慢加速，才能点击切割开始按钮。