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MOONS’(鸣志)MSST10-Q在扩散炉\PECVD上的应用

发布时间:2013-01-23 10:34   类型:应用案例   人浏览

设备功能介绍:

本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺,通过扩散所形成的PN结,就是晶体硅太阳能电池的核心。

 

应用产品型号:

MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04

 

产品应用介绍:

热扩散炉用2个MSST10-Q-RN、2个23HS3002-29;

(PECVD用1个STM23S-3RE、1个MSST10-Q-RN、1个23HS3811-04)

步进电机用于驱动图中四个黑框里的模块上下、前后移动,一个电机装在模块上,通过变速箱+丝杠带动模块做上下运动,一个电机通过皮带+滚珠丝杠带动模块水平运动。

设备中共有四个工控机,每个工控机控制两个驱动器(一个模块)。

   目的是送料进入炉中,或从炉中取料出来。

应用环境参数:

负载:同步带负载,长度3米。

上位机:研祥工控机,

控制模式:主机控制模式,SCL语言编程,客户自己编写程序;RS485通讯,两轴控制,无需插补运动;正反转限位提供机械保护;

电源:24V开关电源;

细分:20000 step/rev;

速度:300rpm;

动作,低速往复运动,运行10分钟,静止1小时。

客户选用的原因:

主机编程控制,实现全数字化控制,抗干扰能力强。

本文地址:http://www.ca800.com/apply/d_1nrutga2l2fc9_1.html

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