欧陆2604控制器在分子外延(MBE)设备上的应用
设备现状用改造方案简述: 原美国MBE设备中的温控表型号为欧陆的905D,由于该型号的表欧陆公司已经停产,而且维修费用较高甚至不能维修;所以此方案考虑用欧陆的2604完全替换原905D,用一台新的计算机替换原计算机,在新计算机上安装Windows2000操作系统,在新计算机上实现原905D的温度控制编程功能。改造后还可保留原设备,以备在新设备出现问题时还可用原来的设备完全替换。 1. 改造工程包括以下各项: 1.1 用欧陆2604替换原905D温控表,共6块,每块2604带双回路PID控制。 1.2 增加一台工业计算机,用于对新增加温控表2604的温度控制和原系统中7路挡板的控制。 1.3 对原905D温控表控制盒进行改装,完成新老表的更换,增加必要通讯连接器,完成新2604温度控制系统的要求并对适应新上位系统的通讯要求。 1.4 在2604上进行组态设置,实现温控回路的控制,实现对应联锁动作的控制,保持原系统的保护要求。 1.5 真空度的interlock进每个2604的DI板,每个温控回路在interlock动作时进行强制125℃的给定。 1.6 对原挡板控制盒进行改装,必要时新旧系统能进行切换操作。 1.7 对各新加温控表和新加工控机进行网络联结,实现现场总线控制。 1.8 在新增工控机上进行组态编程,实现对2604的自动及手动操作,实现对各挡板的手自动操作。 1.9 完成必要的电气线路改造,适应新的系统要求。 2. 改造后实现功能 2.1 由2604代替原905D,实现温度控制。 2.2 在新工控机上代替原计算机完成顺序控制程序的输入。 2.3 程序控制功能和原有功能相同,编程界面和简便性与原有编程界面相当。 2.4 挡板控制及动作联锁在工控机上实现。 2.5 真空联锁信号既进2604做联锁也进工控机做挡板动作的联锁。 2.6 在上位机里对每块2604进行通讯状态检查,如果通讯失败在上位做报警。 2.7 对2604的每个温度做历史记录查询功能。
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