BANNER-晶圆凸出和归位检测
发布时间：2007-11-27 17:51 类型：
应用案例 人浏览
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应用:
验证晶片没有伸出盒子的界限外
描述:
在转移门被关闭前,利用M12激光发射和S12接受组成一对,来检测是否有晶圆从另外一侧突出 |
传感器型号:
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