中图仪器SJ6000高精度激光干涉仪品牌以光波为载体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、最高测速下分辨率高等特点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。
产品功能特点
1、精度高
SJ6000高精度激光干涉仪品牌以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
3、功能广
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）支持手动或自动进行环境补偿。
3、软件强
（1）友好的人机界面；
（2）丰富的应用功能模块；
（3）向导式的操作流程；
（4）简洁化的记录管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企业专属模板定制。
4、标准多
内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
产品配置
SJ6000激光干涉仪具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
主要镜组图
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
产品应用
部分技术规格
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稳频精度
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0.05ppm
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动态采集频率
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50 kHz
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预热时间
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≤ 6分钟
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工作温度范围
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(0~40)℃
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存储温度范围
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(-20~70)℃
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环境湿度
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(0~95)%RH
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线性测量距离
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(0~80)m (无需远距离线性附件)
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线性测量精度
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0.5ppm (0~40)℃
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角度轴向量程
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(0~15)m
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角度测量精度
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±(0.02%R+0.1+0.024M)″
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平面度轴向量程
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(0~15)m
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平面度测量精度
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±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
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直线度轴向量程
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短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m
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直线度测量精度
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短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
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垂直度轴向量程
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短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m
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垂直度测量精度
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短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
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注意事项：
平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组
平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可
短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组
长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组
直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
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