分类：气体流量计 品牌：莱茵泰克 厂商：北京汉默科技有限公司 型号：M3030A 相关行业：
一、linetech气体质量流量控制器产品特点
二、linetech气体质量流量控制器技术参数
型号
质量流量计
质量流量控制器
流量范围(N2)
10SCCM~1000SLPM
10SCCM ~ 300slpm
响应时间
<2 sec
精准度
≤±1% FS
重复精度
±0.25% FS
输入/输出信号
0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压
<90bar
0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,
100-300SLPM,<15bar
工作环境温度
0~50 °C
漏率
1*10E-9 atm cc/sec
使用范围
2 ~ 100%
2~ 100%
三、linetech气体质量流量控制器接口尺寸