一、ALICAT气体质量流量计产品特点
操作简单
Alicat 质量流量计(M系列)作为一个独立设备，带有多功能数字显示屏，用户可通过面板按钮调节参数，无需连接但脑或其他任何复杂的编程软件。
测量精确
标准型Alicat 质量流量计(M系列)的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精选配项则可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性价比
Alicat气体质量流量计(M系列)本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本，且相比与同类产品，其压损亦相对较小，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量仪器中。除质量流量外，M系列质量流量计还可同时测量体积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量，是监控整个应用过程及减少气体浪费的最有效的方法。
性能卓越
M系列质量流量计可测量从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，配有多种模拟信号输出及RS-232数字信号输出。该系列质量流量计亦有便携式型号(MB系列)，采用一块普通9伏电池供电，即成为一款二等标准流量校准设备。
反应灵敏
10毫秒典型反应时间，意味着Alicat 质量流量计的响应速度比您的眨眼速度至少快两倍。
体积娇小
ALICAT气体质量流量计娇小的本体使其极易被安装于系统中或作为一款单独的校准设备随身携带。
高重复性
Alicat 的专利技术使得质量流量计几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的一致性和重复性。M系列质量流量计的重复性可达±0.2% F.S。
值得信赖
全球现有超过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中，如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。
二、ALICAT气体质量流量计性能参数
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指标
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ALICAT气体质量流量计
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量程
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0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM
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精度
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±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
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重复性
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±0.2%
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量程比
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200:1
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响应时间
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10ms
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标准状态(STP)
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25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
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温度范围
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-10～50
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零点漂移
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0.02％
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量程漂移
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0.02％
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湿度范围
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0-100%
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测量流量范围
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128％（过流率）
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最大耐压
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145psi
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输出信号（数字）
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质量流量、体积流量、绝对压力和温度
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数字信号可选
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RS485，Modbus，Profibus
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输出信号（模拟）
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质量流量、体积流量、绝对压力和温度
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模拟信号可选
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0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
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电气连接
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8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）
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供电电压
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7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
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供电电流
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0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）
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