分 类：位移传感器
品 牌：HEIDENHAIN-海德汉
厂 商：约翰内斯·海德汉博士（中国）有限公司
型 号：
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车间计量绝对式长度计
精度高和安装简单
应用
• 半导体后端生产设备
• 计量仪器
特点
• 紧凑型读数头和光栅尺
• PRECIMET背胶固定，安装简单
• 抗污染能力较强
• 限位开关和回零轨
技术参数
• 玻璃基体或Zerodur玻璃陶瓷基体的 SUPRADUR相位光栅
• 信号周期 4 µm
• 精度等级 ± 3 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.04 µm
• 测量长度 至1 020 mm
• 接口 1 VPP或TTL
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