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单晶硅棒实时监控系统

单晶硅棒实时监控系统

分类:视觉系统
品牌:hewsight
厂商:上海昊视信息科技有限公司
型号:HS-INGOT01
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发布时间:2012-07-17 20:58
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产品详情

一.测量方法
1.在单晶硅炉的观察窗外架设一CCD相机,辅以隔热护罩及滤镜,从斜上方对固态晶体与液态融液的交界处形成的光圈进行测量。
2. 可根据用户的要求定制与控制系统进行数据通讯的接口,如:将监控软件嵌入到组态软件中,或将数据转化成数字或模拟信号传送给控制器。

二.技术规格
1. 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。
2. 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。
3. 可对坩埚中的液面高度进行测量。
4.  可检测晶种(籽晶)与液面的接触状态。
5. 测量精度 0.1 mm。(注:按标准相机配置,采集分辨率1392×1040;可根据用户要求配置相机。)
6. 测量速率:每秒15个数据。

三.算法特点
1.亚像素的边缘检测算法,精确检测出固液交界面的光圈上的点列。
2. 高精度的椭圆拟合算法,可剔除晶癖线上的点、避免硅棒晃动的影响,准确的得到光圈的直径和中心。
3. 采用FIR数字滤波器(Chebyshev最佳一致逼近)进行数据后处理,进一步去除由硅棒转动而产生的噪声,输出高信噪比的信号。
4.  可根据用户需求定制特殊的检测项目。




 

联系方式

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