分类:视觉系统 品牌:hewsight 厂商:上海昊视信息科技有限公司 型号:HS-INGOT01 相关行业:
一.测量方法 1.在单晶硅炉的观察窗外架设一CCD相机,辅以隔热护罩及滤镜,从斜上方对固态晶体与液态融液的交界处形成的光圈进行测量。 2. 可根据用户的要求定制与控制系统进行数据通讯的接口,如:将监控软件嵌入到组态软件中,或将数据转化成数字或模拟信号传送给控制器。 二.技术规格 1. 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。 2. 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。 3. 可对坩埚中的液面高度进行测量。 4. 可检测晶种(籽晶)与液面的接触状态。 5. 测量精度 0.1 mm。(注:按标准相机配置,采集分辨率1392×1040;可根据用户要求配置相机。) 6. 测量速率:每秒15个数据。 三.算法特点 1.亚像素的边缘检测算法,精确检测出固液交界面的光圈上的点列。 2. 高精度的椭圆拟合算法,可剔除晶癖线上的点、避免硅棒晃动的影响,准确的得到光圈的直径和中心。 3. 采用FIR数字滤波器(Chebyshev最佳一致逼近)进行数据后处理,进一步去除由硅棒转动而产生的噪声,输出高信噪比的信号。 4. 可根据用户需求定制特殊的检测项目。