Width Length Height Weight
Vast 1000C 1600mm 2700mm 1570mm 3800kg
Vast 1200C 1750mm 3000mm 1570mm 4000kg
Vast 1500C 2400mm 3000mm 1670mm 6000kg
型号 Vast 1000C Vast 1200C Vast 1500C
范围 1000×1000×100mm 1200×1000×100mm 1500×1200×100mm
测量准确度 3.5+L/300(μm)
测量准确度 3.0+L/150(μm)
玻璃表面 1180×1130mm 1360×1130 mm 1620×1360mm
承载能力 35kg 35kg 40kg
分辨率 0.1μm
电机 DC伺服马达
速度 XY:300mm/sec; Z:100mm/sec
加速度 XY:500mm/sec; Z:200mm/sec
标准物质 花岗岩
轴承X与Y 直线运动轴承
电力 110/220VAC,10Amp,50-60Hz
光学 可编程12:1光学放大20X~245X with1×Object Lens
成像系统 彩色CCD摄像机
照明 LED Coaxial Light/LED背光源（Back Light）
表面LED环形灯 LED环形灯5 Rings×8 Sectors×40 Segments
线扫描激光器 平整度激光扫描分析软件
同轴激光器（可选）可补偿同轴激光器
接触式探针 RENISHAW接触式探针 使用iTouch软件
运动控制 DCC，操纵杆(Joystick),Mouse
计算机 Core 2 DUO/19”LCD显示器/2GB RAM
软件 New iView-PRO/Windows XP运营体制
平板固定装置（可选） 气动式自动平板固定装置
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