全 自 动
☆ 程序自动运行,一键扫描全板。每次扫描可测量多达数千个焊盘
★ 自动识别基准标志,以修正基板装夹的位置差异
☆ 扫描自动适应基板颜色和反光度,自动修正基板倾斜扭曲,自动识别目标
高 精 度
☆ 分辨率提高到纳米级,有效分辨率56nm(0.056um)
★ 高重复精度(0.5um),人为误差小,GRR 高
☆ 数字影像传输:抗干扰,自动纠错,准确度高
★ 高分辨率图像采集:有效像素高达彩色400 万像素
☆ 高取样密度:每平方毫米上万点(平均每颗锡球达6~20 取样点)
★ 颜色无关和亮度无关的扫描算法,抗干扰能力强,环境光影响降低
☆ 多点基板扭曲修正功能:不但可以修正倾斜,还可以修正扭曲变形
★ 参照补偿功能:消除阻焊层、铜箔厚度造成的差异
☆ 直接驱动:马达不经过齿轮或皮带,直接驱动丝杆定位精度高
★ 低震动运动系统,高刚性机座和XYZ 大尺寸滚珠导轨
高 速 度
☆ 超高速图像采集:高达400 帧/秒(扫描12.8x10.2mm,131 平方mm 区域仅需2.8 秒)
★ 相机内硬件图像处理:电脑无法响应如此高的速度,相机芯片实时处理大部分数据
☆ 运动同步扫描技术:在变速过程均可扫描测量,避免加减速时间的浪费
★ 高速度使得检测更多焊盘成为可能,部分产品可以做到关键焊盘全检
高灵活性和适应性
☆ 大板测量:可扫描区域达350x430mm,可装夹基板长可超860mm
★ 厚板测量:高达75mm,装夹上面30mm,装夹下面最高45mm
☆ 大焊盘测量:至少可测量10x12mm 的焊盘
★ 智能抗噪音基准标记识别,多种形状及孔,亮、暗标记均可识别
☆ 三原色照明:各种颜色的线路板均可测量检查,并可提高Mark 对比度
★ 快速调整装夹:单旋钮轨道宽度快速调整, Y 方向挡块位置统一无需调整
☆ 快速转换程序:自动记录最近程序,一键切换适合多生产线共享
★ 快速更换基板:直接抽插装夹基板速度快
☆ 逐区对焦功能:适应大变形度基板
★ 大板中央支撑夹具:减少大尺寸或大重量的基板变形度
统计分析功能强大、3D 效果真实、易编程、易使用、易维护等
技术参数