XSI3000系列LVDT测微仪是一种高精度微位移检测机器。广泛应用于国防,医疗卫生,微电子工业,光纤通信等领域。微位移检测技术是微动机器系统的关键技术之一,而且微位移检测有其环境的特殊性。
一般来讲,微位移的检测手段主要有以下几种:电阻应变片式传感器;电容式位移传感器;电感式位移传感器;光栅、容栅式传感器;光干涉测量法等。其中,电感测量法的原理是将位移的变化量转化成互感或自感的变化。前者称为线性差动变压器式传感器(LVDT),后者称为线性差动自感式传感器(LVDI)。
LVDT有性能优越,价格低的特点。早期信号处理电路由分离元件组成,体积较大,并且精度低,稳定性差,无法满足微位移检测的要求。随着集成电子工业的发展,集成式信号处理芯片的出现,使得LVDT的检测精度,稳定性等得到了很大的提高,可以满足微动机器位移检测的要求。从而使LVDT检测技术得到迅速发展。