深圳利方达科技有限公司

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电容薄膜规

电容薄膜规

分类:测量测试仪器
品牌:INFICON-英福康
厂商:深圳利方达科技有限公司
型号:CDG025
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发布时间:2013-06-04 17:48
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产品详情

INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机,在苛刻的生产环境中具有稳定的性能,先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整,抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。独特的传感器屏敝(专利技术)保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性,长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。
优 点
     全刻度范围从100毫乇…1000乇
      电源接通后的快速稳定性
      暴露大气压后的快速恢复性
      抗腐蚀性陶瓷传感监测器
      卓越的长期讯号稳定性
      温度补偿
      保护传感器防止污染
      一键调零功能
      宽范围电源
      2个设点(选项)
      RS232接口(选项)
用 途
要求高的应用条件下,精确而快速的压强测量:
      用于刻蚀,CVD, PVD, ALD半导体制造设备
      资料贮存和显示器制造设备
      工业真空设备
      常用高精度真空测量
订 货 资 料
CDG025D 全刻度范围
                              法兰型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-000
375-001
375-002
375-003
100
13332
133
376-000
376-001
376-002
376-003
10
1333
13.3
377-000
377-001
377-002
377-003
1
13.3
0.13
378-000
378-001
378-002
378-003
0.1
13.3
0.13
379-000
379-001
379-002
379-003

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