Renishaw 光栅尺
反馈系统是运动控制系统重要的组成部分，由于体积小、份量轻、抗干扰能力强，编码器成为反馈系统中使用最多的反馈元件。根据测量圆周和直线运动而分别使用旋转和直线编码器。
旋转编码器分增量式和绝对式，增量式以脉冲型式输出，根据一周内输出一次的Z相信号来定基准位置。绝对式以代码型式表示当前主轴位置，一般有并行或串行输出，输出为二进制或格雷码。
直线编码器的光栅有金属和玻璃2种，金属栅尺上开有透光槽，玻璃栅尺是在玻璃表面涂一层遮光膜，在此上面没有透明线条，栅距是一定的（一般最高精度20μ），为了达到更高的分辨率，一般在读数头内都有细分电路，可以达到十几纳米的分辨率。 Renishaw 提供品种繁多的精密光栅测量系统，包括高速直线光栅、平面光栅和圆光栅。可以应用于三坐标测量机、运动系统、电子设备、半导体加工设备、医疗设备、扫描/印刷、科学仪器、超高精度机器和装置、自动插件机、空间研究、摄影和专用机床等多种工业场合。
型号：RGH22读数头，RGH25读数头，RGH41读数头，RGH34读数头，RGH20读数头，RGS20光栅尺，RGS40光栅尺，RESR圆光栅
RGH22读数头

小巧坚固的外壳
工业标准的数字和模拟信号输出
内置细分卡和安装LED指示灯
分辨率从5um，1um，0.5um，0.1um到50nm
参考零位和双限位开关传感器
高柔性双屏蔽12芯电缆或带状电缆可选
16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
三态低电平报警信号或全报警输出
RGH20读数头

与20μm 栅距RESR 圆光栅兼容
光学滤波系统提供优异的抗污迹能力
小巧坚固的外壳
工业标准的数字和模拟信号输出
内置细分卡和安装LED 指示灯
分辨率从5 μm ，1 μm，0.5 μm ，0.1μm，50nm，20nm 到10nm
参考零位或单限位开关传感器
高柔性双屏蔽8 芯电缆
三态低电平报警信号或全报警输出
l14.8mm（或10.5 mm ）×36.0mmX13.5mm (H×L×W)
可选高真空兼容型

RESR圆光栅

系统精度为± 0.7″（光栅直径为413mm）

角度分辨率为0.01″

多种直径和刻线数，与一系列的工业标准的控制器兼容（直径从52 m m 到413 m m，刻线数从4,096 到64,800 ）

高速、非接触的光学测量系统

零反向间隙

具有专利的锥度基面安装方式，使安装简单、误差最小

与高真空兼容

外型小巧，易于集成

低质量、低转动惯量

有100，150 和200 m m 外径的超低转动惯量的圆光栅可选

英国renishaw雷尼绍激光干涉仪XL-80

XL-80：全新轻型激光干涉仪测量系统
在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。 英国renishaw雷尼绍激光干涉仪XL-80的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4m/s最大的测量速度和50kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。  英国renishaw雷尼绍激光干涉仪XL-80
英国renishaw雷尼绍激光干涉仪XL-80系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值