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低频磁控溅射电源

分类：高压电源
品牌：AE-Advanced Energy
厂商：深圳利方达科技有限公司
型号：PEII
相关行业：

发布时间：2012-03-01 09:52
浏览人数：人

产品详情

PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。

优点

●恒功率、电压或电流输出

●最高的灵活性与模块性

●强大的电弧控制

●自动制程保护装置

●极宽的祖抗匹配范围

●高功率密度

PEII 5000

●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）

●输出频率：40kHz±0.01%

●输出功率：5000W

●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7

●输出电流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1

●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm

●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）

●重量：40.8KG

PEII 10K

●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）

●输出频率：40kHz±0.01%

●输出功率：5000W

●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7

●输出电流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1

●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm

●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）

●重量：40.8KG

联系方式

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公司名称：深圳利方达科技有限公司
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