Pinnacle® Plus+系列

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。

优势:

●更高的沉积率与产品率

●薄膜均匀性和品质一流 

●成弧造成的基材损坏减少 

●成本更低

●系统整合容易

●极佳的工艺灵活性和宽容度

●重复性能

●在过度曲线上运行稳定

●吞吐量更高

●便于监控

●无与伦比的系统灵活性

特点:

●一个紧凑型封装

●频率调节范围为 5-350kHz

●占空比高达45%

●电压范围宽——单输出宽阻抗范围 

●大功率运行

●基材温度低

●单输出（5kW 和 10kW 型号）

●用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）

●绝佳的弧控制

●反应性溅射闭环控制

规格：

●输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出

●电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）

●输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：＃6 AWG

●输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头

●最大电流：15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC

●频率：5到350KHz，可变

●反向电压：工作电压的10%

●点火功能：最大1500VDC，正常1350VDC

●调节模式：功率、电压或电流

●交流线电压：200/208、400或480VAC

●电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/Φ

            400VAC：标称值8.5A/Φ

            480VAC：标称值7.5A/Φ

      5KW双输出/10KW单输出

200/208VAC：标称值35A/Φ

           400VAC：标称值17A/Φ

            480VAC：标称值15A/Φ

●尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）

●重量：5KW：21.4kg；5/5、10KW：30kg

Pinnacle® Plus+ 5KW、5/5KW、10KW

公司名称：深圳利方达科技有限公司
联系人： 刘建辉
联系电话：18620085190
手机号：
传 真：010-60780065
电子信箱：hui7912@163.com
公司网站：http://www.leyfond.net
公司地址：回龙观西大街9号院东亚上北中心11#1-520室