分类：IGCT 品牌：ABB 厂商：哈尔滨溶智纳芯科技有限公司 型号：5 相关行业：
采用压电陶瓷驱动； 纳米级位移分辨率； 重复定位精度高； 优良的频率响应特性； 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；