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筑牢半导体厂务根基|废水处理系统的自动化升级

发布时间:2026-07-16 00:00     新闻类型:企业资讯      人浏览

方案背景

一座12英寸晶圆厂每天产出数万片晶圆,而支撑这条产线稳定运行的,除了光刻机、刻蚀机这些明星设备,还有隐藏在厂务区的废水处理系统。酸碱废水、有机废水、含氟废水分类处理后达标排放,pH、COD、SS等指标需要24小时连续监控,一旦控制中断导致加药过量或排放超标,直接面临环保处罚和产线停调风险。废水处理是半导体厂务的关键环节之一,网络可靠性与控制智能化缺一不可。

半导体废水处理面临三大痛点:

 

01

多池联动复杂:

酸碱、有机、含氟废水分类处理,pH、COD等指标需24小时连续监控。

02

扩建割接困难:

晶圆厂多为分期建设,传统架构下新增节点往往需要停机集中施工,灵活度受限且调试时间紧张。

03

安全要求严苛:

环保数据需实时上传,控制一旦中断将面临环保处罚与停产风险。

网络层:2OT+2IT双环网冗余架构



针对分期扩建与高可靠性需求,方案采用双网冗余架构,实现网络全骨干支撑。

01 OT层瞬时自愈:

采用赫思曼MRP环网技术,链路故障自愈时间小于等于200ms,避免加药泵、曝气风机因通信丢失误动作。

02 在线无感扩展:

废水处理子系统引入赫思曼Sub-Ring子环技术,最大支持8层嵌套,允许在不中断现有业务的情况下,在线接入新增控制节点,完美适配分期建设。

控制层:EC300,恰到好处的高性价比之选

对于废水处理的液位控制、PID调节等工艺,EC300系列PLC在性能与成本间取得了极佳平衡。

01 极简空间:

采用刀片式紧凑设计,尺寸为100乘53乘80mm,最大可扩展64个模块,一台主机柜即可覆盖大型废水站数百点信号,大幅节省控制柜空间。

02 原生免网关:

原生支持EtherCAT、EtherNet IP、OPC UA,完成与赫思曼交换机兼容性测试。PLC与交换机间无需额外协议转换网关,数据路径更短、故障点更少。

03 高国产化:

高国产化率产品为批量部署提供更具竞争力的价格。                 

 

智能升级:EX边控,六位一体创新架构




当系统面临智能化改造时,EX边控系列打破传统,用一台设备替代了传统的PLC主机、触摸屏、协议网关、工控机组合。

01 内置AI算法库

  • 预测性维护,提前数周预警水泵轴承磨损或叶轮堵塞。 

  • 能耗优化,根据进水负荷动态调节曝气量与加药比,降低水耗、电耗。

  • 异常预警,在pH、COD数据越限前提前干预。 

02 数据不出厂:

所有AI算法在本地运行,配合90倍数据压缩技术及256G SSD,本地可留存数月环保监测数据,既满足溯源又保障数据安全。

03 无线接入:

支持4G与WiFi,完美解决室外泵站、水池等布线困难场景。

 

从单点设备到系统级闭环

01

控制层

依托PLC与边缘控制产品,实现加药、输送、处理等关键工艺的稳定控制,并为智能优化和预测性运维预留升级空间。

02

通信层

通过高可靠工业以太网交换机和智能网管平台,保障数据稳定传输,实现网络状态可视化与故障快速定位。

03

平台层

结合工业网络安全产品,构建OT与IT融合下的安全防护体系,保障生产数据与系统运行安全。

附:产品选型推荐

  

从设备选型、系统集成到运维服务,海得控制以统一技术体系和专业服务团队,为客户提供废水处理自动化全生命周期支持,助力企业实现更安全、更高效、更智能的运营管理!

本文地址:http://www.ca800.com/news/d_1o7gdfe2jmmn1.html

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