IC装备制造业发展设想
第一，对国家投资的集成电路建设工程项目，要提出集成电路生产线设备国产化的要求，推广已经在集成电路大生产线上验收过的国产设备。
第二，依托国家科技专项集成电路关键装备科技项目，对承担项目的单位，设备产业化目标要提出更高的要求，进一步推进集成电路产业化的进程。
第三，鼓励和支持积极使用国产集成电路设备的集成电路生产企业，对使用首台（套）集成电路关键设备给予优惠政策，以减少承担的风险。
第四，建设国产化集成电路示范生产线，推进我国产集成电路产业做强。没有国产的集成电路生产线，仅依赖进口集成电路设备的集成电路产业是不可能做强的，只能跟在人家后面跑，并且还要受制于人，所以建设国产化示范生产线是当务之急。从目前的市场需要和我国集成电路设备发展情况来看，建议在二到三年内建设以下三条集成电路国产化示范生产线：12英寸集成电路硅片生产线；集成电路先进封装生产线；8英寸90nm集成电路晶圆（芯片）生产线。
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