汪 挺
存储产品将继续推动半导体设备市场的增长。现在,全球市场对消费类电子产品的需求在不断增长,从而推动了存储产品(特别是NAND闪存)以及微处理器和DSP芯片的增长。同时,在无线产品、消费类产品和通讯器件的推动下,对DRAM的需求量估计不会出现衰退。
这些产品大多采用厚度更小的多芯片封装(MCP)、系统级封装(SIP)以及封装层叠(POP)技术,其层数和功能在不断 增加。这些技术都需要先进的沉积设备。在中国和全世界其他地方我们都看到了这种发展趋势。
同时,我们还注意到高密度存储器内互连导线从铝制程到铜制程的转变过程。铝plug填充技术微缩成本较高、铝刻蚀工艺缺陷较多、铜的导电率比铝大,这些都是促进铝制程向铜制程转变的因素。由于铜制程在提高产品性能方面存在很大的潜力,因此我们认为这种转变趋势将会不断加快。
中国策略各有侧重
.加强本地服务与技术支持
.注重降低成本及人才培养
姚公达
作为纳米制造的领导厂商,应用材料公司一直致力于研发先进的产品和技术,帮助客户实现他们的想法,近期的新产品包括:Producer
GT系统,这是已经通过30多个生产工艺验证的CVD平台。对于Flash和DRAM的设备客户而言,Opus
AdvantEdge金属刻蚀系统具有优化的5反应腔平台,能将临界尺寸的均一度提高50%,产量提高50%。应用材料公司另一个独特的产品是完全整合的栅堆叠工艺解决方案,包含了自由基氧化、栅氮化,氮化后退火处理和单平台多晶硅沉积。整合的栅堆叠系统实现了非常出色的界面控制,从而提高了设备运行速度、降低了泄漏并使芯片之间的控制更加紧凑。
Jerry Cutini
在继续服务好包括美国和欧洲市场在内的我们全球客户的同时,我们将继续把我们的主要精力放在亚洲。自从几年前我们进入中国市场以来,我们已经与中国的主要半导体生产商建立了紧密的合作关系。Aviza已经完成了一项成功的并构计划,这进一步扩展了我们所提供设备的种类,还进一步显示了我们PVD、ALD、刻蚀、CVD和热工艺设备的先进技术和工艺处理能力。随着中国客户逐渐接受我们的产品和先进工艺技术,我们将会进一步增加在中国市场的投入强度,随着未来中国的晶圆厂数量的不断增长,Aviza的产品将会继续分享中国市场所蕴含的巨大机会。
硅的深槽刻蚀DSi是MEMS、圆片级封装WLP和高电压功率器件制造工艺中的关键加工环节。最近,将该刻蚀技术用于大规模生产的晶圆厂数量在大大地增加,它们将该刻蚀技术用来制作消费类器件,如用于汽车中的加速度计、用于打印机中的墨盒腔体,这些产品在中国都有极大的需求量。
苏 华
现在,每个国家和地区的先进芯片制造商都会在产品开发阶段提前和科天(KLA-Tencor)开始进行合作。这样做非常必要,因为新材料和新器件结构生产技术的选择非常复杂。在采用新技术之前,他们必须确保能够对新材料进行精确的测量和能够发现新的缺陷类型。科天以能够解决各种困难问题而著称,在正式投产之前的研发阶段与科天密切合作对于今天的芯片制造商来说是至关重要的。科天已经开始与中国各家先进工厂合作开发新技术,这些新技术将在未来5年之内进入量产阶段。
汪 挺
降低成本和消费类电子产品的增长是电子产业的发展趋势。为此,诺发(Novellus)通过创新性制造新技术和业界领先的高生产效率为客户提供更高的投资价值。我们意识到,从长远来看集中力量开发新技术和提高设备可靠性以及降低系统服务成本是帮助客户降低先进器件制造成本的重要手段。我们相信,先进的工艺设备能够帮助制造商生产各种产品,从而获取额外的利润。
在这种思想的指导下,我们所有的工艺设备都经过精心设计。这些产品不仅能够拓展到以后几个技术时代,而且还具有高度可靠性,升级后能够满足更加严格的要求,从而保证客户获取最大的投资价值。例如,VECTOR经过优化后不仅能够沉积先进的低-k电介质薄膜,而且在同一个反应腔内还可以沉积更多常见薄膜例如氮化硅。
2007年,PECVD领域仍然存在很多机会。65nm及以下工艺为我们的VECTOR系统和薄膜沉积技术创造了新机会,其中包括ULK电介质、高应力氮化硅、抗反射层(ARL)以及可灰化硬掩膜层(AHM)。VECTOR具有高度的灵活性,实际上它可以沉积所有的PECVD电介质薄膜。从一种薄膜沉积转换到另外一种薄膜沉积时通常只需要在中间进行一次原位(in-situ)清理。
此外,诺发还在继续集中力量开发那些已经确定市场地位的技术,例如钨化学气相沉积(CVD)。我们的ALTUS
DirectFill氮化钨沉积系统通过CVD衬垫/阻挡层/钨plug工艺的集成取代了传统的PVD衬垫/阻挡层薄膜沉积工艺。我们在同一台设备内集成了衬垫阻挡层和钨金属化以及预处理等工艺。通过这种方法,我们帮助客户使整个工艺过程变得更加顺畅,同时还改善了设备性能和降低了成本。随着客户逐渐加深对这些优点的认识,DirectFill将继续领先该市场。
从长远来看中国存在很大的增长潜力。我们通过在该地区加强各方面的能力来不断扩大我们的市场份额。2006年,诺发(中国)在好几个产品上取得了整体业务增长和市场份额扩大的优异成绩。其中,PVD产品的增长尤其显著,以前该领域通常被我们的竞争对手所主导。同时,我们还通过一些关键管理职位的充实加强了我们的组织能力。诺发(中国)的重点是通过不断挖掘各种技术和客户服务资源来加强对客户的支持以及与著名大学例如清华和复旦的合作。
David Sachse
有才能的工程师是ASML成功的关键,ASML中国公司非常努力地寻找人才。ASML已经与中国几个重点大学共同设计了专门的计划以培养技术专家。
本地化是我们在中国以及全亚洲的主要战略之一。本地化和建立供应商伙伴关系对公司来说是相对较新的战略,但对于这一点ASML非常努力并发展迅速。中国同其他亚洲国家一样,提供给ASML机会来加强我们的供应商基础,这能帮助我们提高服务质量和降低成本。