2005年是“十五”计划的最后一年，我国电子专用设备行业继续保持了产销和经济效益同步增长的态势。与“九五”末(2000年)相比，我国电子专用设备行业“十五”末的总产值、销售收入、利税总额和出口交货值分别增长了95.1%、81.8%、130%和122%。2005年国产电子专用设备迅速占领了我国新兴的太阳能电池生产设备的市场，同时一批具有自主知识产权的高科技的设备也相继问世，这些成绩也为2006年行业的发展打下了坚实的基础。
2005年半导体设备销售额
继续大幅增长
2005年行业总产值、工业增加值、销售收入、利税总额和实现利润分别比2004年同期增长了16.1%、6.9%、14.9%、8.8%和9.8%，但利税增长速度比2004年减少了3.5个百分点。利税增速减缓的主要原因是由于具有自主知识产权的、技术含量高的产品开发慢，同时2005年原材料和能源、运输费用价格的继续上涨导致大部分老产品利润空间缩小。
2005年电子专用设备行业前十名销售收入总额为26.7亿元，占全行业的59.5%，2005年前十名销售收入比2004年的前十名增长33.6%。2005年行业前十名完成利税总额3.32亿元，占到全行业利税总额的49.8%，比2004年前十名利税总额减少3%。2005年行业前十名实现利润2.09亿元，占全行业利润总额的56%，比2004年前十名利润增长12.1%。2005年行业前十名出口交货值为2.15亿元，占到全行业出口交货值的68.7%，比2004年前十名出口交货值增长12.6%。江苏苏净集团公司仍然位居行业榜首，北京七星华创电子股份有限公司2005年上缴税金和实现利润分别达到2571万元和4600万元，在行业中是最高的。
2005年半导体设备销售额继续较大幅度的增长，集成电路和电子整机装联设备仍然是行业发展的薄弱环节。
2005年电子专用设备销售收入占设备生产单位销售收入总额的66.5%，比2004年提高了11.1%。2005年电子专用设备总产量为55658台，产销率为104.5%。
2005年我国半导体设备在太阳能电池市场需求的推动下，继续成为近年来行业内销售额增长最快的一类产品，与2004年相比增长了58.6%。同时也是2005年各类电子专用设备中销售额最大的产品，占电子专用设备产品总销售额的24.1%。但是，国产的集成电路芯片制造设备2005年仍然还在生产线上考核试用。
国产净化设备和试验设备，2005年走出低谷分别增长了29.4%和22.3%，市场占有率有了明显提高。电子整机装联设备2005年虽然有了较大的增长，但由于我国表面贴装设备中的关键设备仍然需要依赖进口，所以我国电子整机装联设备的发展至今比较缓慢。
2005年电子工模具销售收入占工模具生产单位销售收入总额的44%，比2004年提高了62.1%。
2005年出口继续快速增长。在2004年行业出口交货值快速增长的基础上，2005年行业出口交货值继续保持了快速增长，达到3.13亿元，比2004年增长30.6%。其中，电子专用设备出口增长了16.2%，但是电子工模具的出口下降幅度较大(-63.7%)。
亏损企业的亏损额有较大的下降。2005年亏损企业有16家，虽然与2004年持平，但2005年全行业亏损总额为4733.7万元，比2004年减少了27.3%。
2006年总产值及销售收入
增速将保持在10%以上
电子专用设备已经列入“十一五”国家发展专项，2006年开始行业将得到国家重点支持，高科技新产品的开发将加快。
2006年国内外市场发展的热点电子产品给我国电子专用设备发展提供了机遇。首先，太阳能电池生产设备2006年需求将继续保持快速增长态势。国产的太阳能电池片生产设备已经进入大生产线，去年设备销售额比2004年增长了一倍以上。去年我国又通过了《可再生能源法》，将推动我国太阳能电池的开发和利用，随着一批新产品的投产，今年太阳能电池生产设备需求将继续保持快速增长的态势。其次，无铅焊接设备今年将有较大发展。从2006年7月1日起欧盟将正式实施有关环保的RoHS指令，焊接设备无铅化将加速。第三，国产集成电路前工序关键设备已在大生产线上流片成功，今年有望进入集成电路大生产线。第四，TFT-LCD的迅速发展，将继续带动液晶显示器生产设备的发展。第五，LED照明产品已形成产业并具有巨大的应用市场，LED生产设备受到青睐。2006年LED生产线的一些关键设备，如MOCVD、全自动划片机、全自动粘片机等国产化将有所突破。
2006年我国电子信息产业增速将达20%，全行业固定资产投资将继续保持稳定增长，今年国家又出台了相关政策鼓励使用国产设备，电子专用设备行业市场将有所扩大。
外资研发机构开始在中国落脚，今年将推动行业向高端产品发展。目前行业遇到的最大困难是缺乏能够开发具有自主知识产权产品的高科技人才，近年来已有企业引进国外专业人才，并展现了成果，促进了企业的迅速发展。市场需要的高科技产品开发缓慢，如集成电路芯片设备、SMT自动贴片机、LCD前工序设备等，这仍将影响今年行业经济效益的增长。
综上所述，2006年全行业的工业总产值、销售收入和利税总额仍将继续保持同步增长态势，预计总产值、销售收入增速将保持在10%以上，利税总额增速将低于10%。