日本药液监测仪厂商Fiamo公司在可对高纯度药液中微量金属杂质进行实时监测的系统“FIAMO”中，作为用户选配项追加了3项功能，现已开始销售。
现在的半导体工艺随着微细化的发展，洗净药液的纯度越来越高，同时由于新材料的导入，正在越来越多地使用新的药液，因此洗净工程的成本不断增加。与此同时，还要求对洗净废液进行环保处理。“FIAMO”系统能够以较低的成本、实时而连续地对药液中的金属杂质进行自动管理，杂质金属一旦超过预告设置的管理标准，就能报警通知。因此不仅能够最大限度地减少次品的产生，而且还能在环保方面发挥作用。“FIAMA”系统自2005年4月已经开始单独销售，目前该系统已被著名晶圆厂商和LSI厂商导入多台。
此次追加的三项功能包括（1）稀释装置；（2）多路取样器（Multi-sampler）；（3）多槽管理软件。通过追加（1）稀释装置，能够对过去无法处理的高纯度药液中的金属杂质进行检测。通过配置（2）多路取样器，实现了多个相同药液槽的监控，以及单一洗净设备中不同药液的同时监控。通过同时使用（3）多槽管理软件，能够更方便地对由多个洗净槽所收集的各种数据进行管理。
摘自慧聪网