市场调研公司In-Stat日前发表的报告指出，微电机系统(MEMS)的单位出货量将在未来几年里以19.87%的复合年增率增长，2009年接近60亿个。
2004年总体MEMS销售额比2003年上升了32%。随着MEMS市场的强劲增长，In-Stat指出，2004年MEMS公司筹集到的资金比2003年增长43.9%。
“2004年增长强劲。德州仪器(Texas Instruments)的销售额升至第一，它的DLP器件销售额达8.8亿美元。”In-Stat公司的分析师Frank Dickson指出。2004年，20家最大MEMS器件供应商占总体销售额的62.2%。
In-Stat还指出，2004年微流体器件(microfluidic device)约占总体MEMS单位出货量的69%，占总体销售额的23%。
随着越来越多的手机集成RF MEMS器件和惯性传感器，以及光学网络领域最终采用MEMS技术，预计通信市场的MEMS单位出货量和销售额将具有最高的复合年增率。
虽然MEMS在工业市场比较分散且各部分规模较小，但2004年该市场对MEMS销售额的贡献最大，而且在预测期内将保持这一地位。