Oki公司近日推出全球最薄超小型三轴加速计模块ML8950,集成传感器芯片和控制IC,具有全球最薄封装形式。除具有检测三轴(X,Y和Z)加速度(±3g)功能外,三轴加速计模块不仅可以检测出倾斜和冲击震荡,还可测量出倾斜度和振动度。适用于移动电话、移动设备、HDD和娱乐设备等应用。Oki公司将于2004年10月在日本和北美推出ML8950样品,于2005年4月投入大批量生产。三轴加速计模块ML8950可检测出三轴加速度、倾斜和振动,并以数字格式输出信号。采用微型电机(micromachined)技术和绝缘体上外延硅(SOI)晶片,Oki公司成功开发出结合高震荡残存性、1.4mm薄膜和小规格传感器芯片的模块,可满足装配于移动设备的所有要求。
控制IC芯片装配在信号放大电路、控制电路、模数转换器和温度补偿电路上。此外,它还是首例具有数字接口的三轴加速计模块。由于它可直接连接到CPU,所以无需使用设备上的模数信号转换器,便可内嵌于数字设备中。