微波可以使物质的内部发热，根本是与其他热的发生不同。在热风和热传导干燥中较难去除的部分水分，可以在干燥过程中除水率降低的阶段辅之以微波加热干燥，帮助去除水分，加快干燥速度。
由于单一使用微波干燥除去物料水分设备的运转费用很高，引起产品成本过高的问题，因此许多生产公司采用各种干燥方法配以微波干燥的方法来开发新产品。 现在日本已经由微电子公司、卡瓦萨基机工公司及千代田制作所等机电制品公司开发生产了一些组合利用微波技术的干燥装置，简介如下：
应用微波技术开发生产干燥装置的专业公司微电子公司主要生产可供食品和饲料公司等企业使用的微波干燥装置。其特征是同使用企业合作研究开发，适用性强。目前该公司已经商品化生产的微波干燥装置是可以用于芝麻和豆类的烘焙煎炒加工及茶叶干燥杀青等加工处理的装置“微波、辊筒联合干燥装置”。以及可以供食品和药品等两大领域利用和充分发挥微波干燥威力的干燥装置“FMD系列”与“微波液体加热装置”等。
“FMD系列”是组合应用减压、混合与微波加热的方法，可以在无损于食品营养成分的情况下进行杀菌、浓缩和干燥处理。通过与减压条件的组配联用，实现低温下的浓缩和干燥作用，加热均匀以及短时间内的高效率的浓缩和干燥。可以按需要进行温度的有效调控以及操作简捷也是一大优点、因此试用此系列设备的企业很多。如对各种调味液的浓缩、玉米等各种谷物的低温干燥和粉末化加工、天然调味料的粉末化、调整水分、酵母的干燥和造粒、果汁的减压浓缩、中草药的干燥和杀菌、即席咖啡的造粒和干燥以及各种食品原材料的灭菌等。 除此而外，近年来该公司还新开发了微波与蒸发组配并用的联合装置，除了具有均匀干燥和杀菌的效果以外，同时另有较好的蒸煮效果。这种新干燥装置分别显现出微波和蒸发干燥的特征。此外另有一大特征仍是两者共存一起还有效果成倍增大的所谓“相乘”作用效果。利用该设备系统除了能取得有潮湿口感的物料干燥以外，还可用于包装物品的杀菌以及原料和制成品的杀菌试验。
千代田制作所开发生产的“超级干燥系统”是利用在减压条件下组合应用微波加热和远红外线加热的新干燥装置。由于在减压条件下，物料内部水分的沸点降低，因此可以利用很少的热能就可以使之容易蒸发为蒸汽状态，然后再通过微波加热将物料内部水分挤出到外部表面，由微波和远红外线联用的加热方法将这些表面部分的水分快速汽化，最终制得优质的干燥物成品。这种干燥由于是减压下低温加热使水分快速除去的方法，因此原材料原有的营养成分几乎完全不遭到损失，干燥成品充分保持了原有材料的营养成分。