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韩国LINETECH气体质量流量控制器,韩国LINETECH气体质量流量控制器
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型号
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质量流量计
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质量流量控制器
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流量范围(N2)
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10SCCM~1000SLPM
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10SCCM ~ 300slpm
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响应时间
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<2 sec
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<2 sec
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精准度
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≤±1% FS
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≤±1% FS
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重复精度
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±0.25% FS
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±0.25% FS
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输入/输出信号
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0~5 Vdc OR 4~20 mA
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0~5 Vdc OR 4~20 mA
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供电电源
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±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
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±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
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耐压
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<90bar
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0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,
100-300SLPM,<15bar
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工作环境温度
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0~50 °C
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0~50 °C
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漏率
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1*10E-9 atm cc/sec
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1*10E-9 atm cc/sec
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使用范围
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2 ~ 100%
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2~ 100%
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韩国LINETECH气体质量流量控制器，韩国LINETECH气体质量流量控制器，韩国LINETECH气体质量流量控制器