本系统AS-3DM是无须接触被测物表面即可超高精度测量物体表面状况的测量系统。本系统由机械部、控制部和计算机电脑软件组成。通过使用AS-3DM系统，可进行复合控制，可在有限的空间内简捷地采集表面位移的数据。 
  
测量  
    采用超高速设备，变位测量时间的分辨率可在1ms以内。 
    通过高性能变位传感器，可进行平面、镜面、球面及各种复杂表面的测试。 
    通过使用本公司开发的轴控制器，可很方便自由地进行复合平台的测试。 
  
数据采集  
    采用COM通信接口，可通过台式或笔记本式电脑采集数据。 
    采用标准的附属专用软件，从购买之日起即可使用。 
    测得数据可生成文本文件，可用Excel制表软件进行编辑。 
  
通用性 
    适用于通用型COM通信接口的电脑，安装专用软件后即可进行测试。 
    电机控制器、驱动器、电源等元器件都整合在一个操作盒里，使空间缩小，移动方便。 

测量方式：非接触式测量
检测精度：0.1μm
轴数：3轴
被测物体体积：（Ｗ）100ｍｍ×（Ｄ）100ｍｍ×（Ｈ）20ｍｍ
使用场合：人的眼球、CPU晶圆表面检测 
图:http://www.seekgr.com.cn/test.htm