近年来,我国工业现代化进程和电子信息产业持续增长,也带动了国内整个传感器市场需求的快速上升,传感器主要包括压力传感器、温度传感器、流量传感器、水平传感器、无线传感器和生物传感器等。中国传感器的技术和产品,经过发展,有了较大的提高;但是产品的技术发展远远不能满足市场的巨大需求,因此,西门机电分析,2012,国内传感器的技术提升,是现下传感器行业发展的重中之重。
(1)MEMS工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器:如用微硅电容传感器、