硬件故障检查过程因故障类型而异，以下所述方法无先后次序之分，可穿插进行，综合分析，逐个排除。
1)观检查系统发生故障后，首先进行外观检查。运用自己的感官感受判断明显的故障，有针对性地检查有怀疑部分的元器件，看空气断路器、继电器是否脱扣，继电器是否有跳闸现象，熔丝是否熔断，印制电路板上有无元件破损、断裂、过热，连接导线是否断裂、划伤，插接件是否脱落等；若有检修过的电路板，还得检查开关位置、电位器设定、短路棒选择、线路更改是否与原来状态相符；沈阳第一机床厂注意观察故障出现时的噪声、振动、焦糊味、异常发热、冷却风扇是否转动正常等。
2)连接电缆、连接线检查针对故障有关部分，用一些简单的维修工具检查各连接线、电缆是否正常。尤其注意检查机械运动部位的接线及电缆，这些部位的接线易因受力、疲劳而断裂。
3)连接端厦接插件检查针对故障有关部位，检查接线端子、单元接插件。这些部件容易松动、发热、氧化、电化腐蚀而断线或接触不良。
4)恶劣环境下工作的元器件检查针对故障有关部位，检查在恶劣环境下工作的元器件。这些元器件容易受热、受潮、受振动、粘灰尘或油污而失效或老化，受冷却水及油污染，光栅标尺栅和指示栅都变脏。沈阳第一机床厂清洗后，故障消失。
5)易损部住的元器件检查元器件易损部位应按规定定期检查。沈阳第一机床厂直流伺服电动机电枢电刷及换向器，测速发电机电刷及换向器都容易磨损及粘污物，前者造成转速下降，后者造成转速不稳。沈阳第一机床厂纸带阅读机光电读人部件光学元件透明度降低，发光元件及光敏元件老化都会造成读带出错。
6)定期保养的部件厦元器件的检查有些部件、元器件按规定应及时清洗润滑，否则容易出现故障。冷却风扇如果不及时清洗风道等处，则易造成过负荷。沈阳第一机床厂如果不及时检查轴承，则在轴承润滑不良时，易遭~成通电后转不动。
7)电源电压检查电源电压正常是机床控制系统正常工作的必要条件，电源电压不正常，一般会造成故障停机，有时还造成控制系统动作紊乱。沈阳第一机床厂硬件故障出现后，检查电源电压不可忽视。检查步骤可参考调试说明，方法是从前（电源侧）向后地检查各种电源电压。应注意到电源组功耗大、易发热，容易出故障。沈阳第一机床厂多数情况电源故障是由负载引起，因此，更应在仔细检查后继环节后再进行处理。沈阳第一机床厂检查电源时，不仅要检查电源自身馈电线路，还应检查由它馈电的无电源部分是否获得了正常的电压；不仅要注意到正常时的供电状态，还要注意到故障发生时电源酌瞬时变化。