边缘检测是图像处理和计算机视觉中的一项基本任务,主要目的是识别图像中物体的边界。它广泛应用于多个领域,包括物体识别、物体跟踪和图像分割。近年来经历了显著增长的半导体行业在很大程度上依赖于边缘检测。这对于确保半导体设备在各个环节的可靠性和性能至关重要。
其中一项应用在硅片制造中非常明显,硅片需要经过一系列复杂的工艺,包括晶体生长、切片、抛光和清洁。在这些阶段中,硅片边缘可能会出现划痕、裂纹或污染等缺陷。这些缺陷有可能导致设备故障或产量下降。因此,对于制造商来说,采用先进的检测系统来准确检测晶圆边缘的缺陷并对其进行分类变得至关重要。此外,边缘检测在光刻、蚀刻、封装和装配等其他半导体制造阶段也同样重要。因此,在半导体制造等行业中,边缘检测在保持流程效率和准确性方面的作用怎么强调都不为过。
英国真尚有的 ZM106 系列边缘传感器是低成本边缘检测领域的先驱。这些传感器采用巧妙的 "阴影 "原理,由两个主要部件组成:控制器和测量探头,后者是发射器和接收器模块的组合。这些传感器的独特之处在于,一个控制器可容纳两套测量探头,从而便于测量双位置的边缘。ZM106 系列专门用于非接触式测量和监控各种物体的边缘位置,如胶带、电路板、基板等。它们具有 ±20um 的高精度、1um 的可重复性和令人印象深刻的 7mm 测量范围等高性能规格。这些传感器体积小巧,测量探头轻便,安装方便,发射器和接收器之间的距离也达到了 30 毫米。控制器支持直接数字显示,无需额外的数字显示设备。总之,英国真尚有的 ZM106 系列边缘传感器为边缘检测提供了无与伦比、用户友好和经济实惠的解决方案。
当然,除了英国真尚有ZM106这类低成本边缘传感器外,还有很多其他的传感器用于不同的行业的边缘检测。最常用的传感器之一是相机,上文提到过的晶元边缘检测使用的就是高分辨率相机。它通过比较图像中相邻像素的强度来检测边缘。使用摄像传感器的好处是它可以捕捉到广泛的物体和表面。然而,相机会受到照明条件的影响,在低光环境下其准确性可能会下降。其次使用激光三角反射法原理的线激光传感器、激光光幕测微仪等等光学传感器也是边缘检测的重要工具。