ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。 当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。
ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。