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产品详情

参数

包装

大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率。
高速搬运：300枚/小时
适用：300mm-450mm晶片搬运

项目			规格
机械臂	适用晶体尺寸		300mm(450m)*1
	晶体把持方式		真空吸附夹具或边缘夹具
	标准边缘效应器长*2		对应345mm＠300mm的晶体
	驱动轴数		5轴
	手臂类型		单臂
	动作范围	R轴伸缩*3	1215mm
		θ轴回旋	330°
		Z轴升降	480mm
		B轴回转	440°
	最小回转半径*2		510mm
	最快速度*2	伸缩	260°/s
		回旋	330°/s
		升降	550mm/s
		B轴回转	350°/s
		线性	2000mm/s
	重复定位精度*2		0.1mm(P-P)
	质量		66kg
位置调整器	适用晶体尺寸		300mm
	晶体把持方式		真空吸附夹具
	检出对象		凹槽
	晶体材质		珪素*4
	晶体边缘检出传感器		LED + CCD线性传感器
	动作范围	回旋	无限制
	最快速度(加速/减速时间)	回旋	1000°/s(0.1s/0.1s)
	LINEMENT精度		±0.03°
	LINEMENT时间		1.7秒以下
	质量		5.8kg
设置环境	洁净等级*5		ISO等级1
	使用温度·湿度		20～30℃,35～55%RH(不结露)
	保管温度·湿度		0～40℃,35～80%RH(不结露)
	标高		表高1000m以下
	环境		无爆炸性，腐蚀性，可燃性气体
	MCBF		1500次循环以上

*1：本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
*2：300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
*3：机械臂回旋中心位置～晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
*4：根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应（有业绩）。但是根据石英规格，本公司需要进行评价和调整。
*5：在0.3m/s的流量下，机械臂进行真空吸附

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联系方式

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公司名称：安川电机（中国）有限公司
联系人：销售部
联系电话：021-5385-2200
手机号：00000000000
传真：021-5385 3299
电子信箱：sales@yaskawa.com.cn
公司网站：http://www.yaskawa.com.cn
公司地址：湖滨路222号领展企业广场一座22楼

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