磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的微量位移测量 电涡流传感器
应用背景：
在超精密加工、微机电系统、生物工程等领域,迫切需要高精度的微运动系统,其核心部件微驱动器是当前研究的热点。在微运动具体实施过程中,对微运动系统驱动器要求的主要参数有:运动范围和运动精度、运动自由度、运动响应。基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器，解决了悬浮驱动力与横向力相互耦合的问题，可实现高精度微运动。
在微驱动器的设计制造阶段，对运动精度标定和验证是一个必要的环节。
电涡流传感器解决方案：
KD-2306电涡流传感器，采用非接触式测量，分辨率可以达到0.1μm。
电涡流传感器主要特点
高分辨率和高采样率；
可自行调整零位、增益和线性；
可选择延长电缆、温度补偿等功能；
可测铁磁和非铁磁所有金属材料；
具有多电涡流传感器同步功能；
不受潮湿、灰尘的影响，对环境要求低；
电涡流传感器KD2306是KD2300的更新产品，它采用轨导DIN式结构，具备卓越的分辨率和速度性能（0.1um分辨率，50kHz高响应），能满足各种实际需求。而且还可选择延长电缆、温度补偿等特殊需求。
该体系非常适合集成到OEM设备和工业控制应用中。