精密打磨 电涡流传感器
目标
1 控制高精度磨床伺服系统的位置
2 保持磨轮的位置在纳米的距离内(即和成品距离在纳米级)
3 测量环境中有污染物,例如机器油之类的。
解决方案
电涡流传感器位于磨床上端(如图所示)监测转动轴的径向位置。双极性的模拟输出信号表明了磨轮的相对于地面部分的位置。通过闭环反馈系统,电涡流传感器的信号直接控制磨床的位置。
注:Force applied to workpiece causes spindle deflection :对加工件的作用力导致轴轴向偏差
High speed motor 60000 to 100000 RPM : 高速旋转电动机,60000 到100000 转/秒。
Workpiece:加工片
Quill / Grinding wheel : 磨轮
Pivot:支点
Actuator for positioning of grinding quill :为打磨轴定位的激励
Processor : 处理器
Controller : 控制器
电涡流传感器特点
1 类型:SMT-9700
2 非接触性: 应用涡电流技术,电涡流传感器无需接触就可以测量目标物体的位置。整个系统不需移动,是一个非常稳定的系统。
3 高灵敏性:系统的灵敏度为 0.1微米/毫伏,从而可以精确控制磨轮的位置。
4 用户自定义设计:微密封处理装置可以保护电涡流传感器的外表机器油或者冷冻剂的污染。SMU-9000-6UI 型号的电涡流传感器包含有完整的电路,这种结构排除了一般电子传感器:传感器—电缆这种连接结构,从而降低了系统被环境污染的可能性。