目标
     1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。
     2 使化学物质沉淀在晶片上。



解决方案
     在沉淀开始前，KAMAN电涡流传感器电涡流传感器传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。KAMAN电涡流传感器电涡流传感器系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。
 
 KAMAN电涡流传感器电涡流传感器特点：
      1类型：SMT9700
      2 直接测试： 一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。
      3 无需接触：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
      4  应用广泛。

KAMAN电涡流传感器SMT9700电涡流传感器系列是一个基于脉宽调制技术的系统。具体来说，相位检测是基于脉冲宽度调制技术。该系统占地面积小，是理想的OEM配置，具有极佳的分辨率，并且只需要一个单端电源。定制的设计可调整满足客户的需求，同时18针的单列直插式封装卡可为客户整合到现有的主板。

KAMAN电涡流传感器电涡流传感器SMT9700应用领域：
光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

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