无论是生物工程中的细胞操作、集成电路或光电子器件的加工,还是采用电子显微镜进行纳米操作,尽管其精度要求各不相同,但在硬件装备中均有一项共性的关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和精确定位。要实现这项关键技术,高精度控制系统是非常重要的。搭建了一种闭环控制系统,用于控制某特性显微镜工作台。传感器的使用是闭环控制中必不可少的一环，传感器的精度决定着系统的精度。而电容位移传感器是迄今为止精度最高的。
下面我将为大家介绍两款电容传感器：
ZCS1100型精密电容位移传感器（单通道电容传感器）
本传感器采用电容式测量方法，可以在线检测压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。该传感器是一个单一的通道，高性能线性位移测量系统，创新的电容位移测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。
ZNXsensor型超精密电容位移传感器（双通道电容传感器）
本传感器一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。ZNXsensor电容位移传感器应用领域主要为：压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。