英国真尚有ZNXsensor高精度纳米位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种：变极板间距离的变极距型；改变极板面积的变面积型；还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的高精度纳米位移传感器。

ZNXsensor高精度纳米位移传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

该高精度纳米位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。


ZNXsensor高精度纳米位移传感器主要特点：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调； 
真空兼容选项；
 
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英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
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技术规格：
传感器型号 ZNXA ZNXB ZNXC ZNXD
小量程μm - 20 100 250
灵敏度μm/V - 2 10 25
噪音nm rms Hz-1/2 - <0.001 <0.005 <0.013
温漂nm/K - 1 4.4 11
线性度% - <0.08 <0.03 <0.06
大量程μm 50 100 500 1250
灵敏度μm/V 5 10 50 125
噪音nm rms Hz-1/2 <0.08 <0.015 <0.075 <0.188
温漂nm/K 2.2 4.4 22 55
线性度% <0.08 <0.08 <0.05 <0.06
频响Hz 50/500/5000

控制器型号 NS2000 NM2110 S2000和NS模块 NM3330
传感器通道最大个数 1 1 14 3
供电 ±15V，70mA 90～130V或220～260V 90～110V或110～130V或220～260V 90～260V
模拟输出V ±5 ±5 ±5  
数字输出 16位(可选) 7位浮点数
频响KHz 5 5 5 12.5

◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。

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