纳米定位台
ZSY/OSM-Z-100B ●技术规格 ●安装尺寸
ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY最新的双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业,拥有业界领先的动态性能和精度。ZSY/OSM提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。
我们拥有世界领先的非接触式位移测量系统——纳米传感器保证了产品在纳米层级上拥有出色的分辨率,重复性和稳定性。低离轴误差和极高刚度的先进设计进一步提高了产品性能。包括最新支持双传感器技术的DSC-A-1110DST模拟控制器在内的一系列模拟和数字控制器都可用于驱动ZSY/OSM-Z-100B。
概述
ZSY/OSM系列在显微镜的物镜聚焦装置领域内代表了最高的性能。 ZSY/OSM系统用于显微镜转台和目标之间的定位,可以为定位和扫描提供埃米级的分辨率。
ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY最新的双传感器技术,在显微镜物镜聚焦领域实现了业界领先的动态性能和精度。
应用领域
◆ 表面结构分析;
◆ 自动对焦系统;
◆ 共焦显微镜;
◆ 扫描干涉仪;
推荐控制器
DSC-A-1110DS模拟控制器
主要特点
◆ 高于行业标准3倍速度:<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制;600Hz的响应频率;20N/μm的刚度
◆ 装备双传感器技术:在不同的负载下无需重新校准;优越的机械带宽;
◆ 卓越的ZSY纳米传感器定位性能:0.1nm的定位噪音;0.01%的线性度;0.005%的剩余磁滞;
◆ 免工具安装适配器;
◆ 超级不胀钢结构设计获得极高的聚焦稳定性;