ZNXsensor型超精密电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
ZNXsensor电容传感器应用领域主要为:压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
主要特点:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
线性最高0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
真空兼容选项。
电容传感器有什么优点?
1、测量范围大 其相对变化率可超过100%;
2、灵敏度高 如用比率变压器电桥测量,相对变化量可达10-7数量级;
3、动态响应快 因其可动质量小,固有频率高,高频特性既适宜动态测量,也可静态测量;
4、稳定性好 由于电容器极板多为金属材料,极板间衬物多为无机材料,如空气、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作,尤其是解决高温高压环境下的检测难题。