NM-XY-100X纳米定位是一个集成了电容传感器的微动平台。由Super Invar（特殊钢材）制成，高于纳米级分辨率和重复性。
NM-XY-100X纳米定位概述
NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。
NM-XY-100X纳米定位应用领域
◆ 高精度显微镜；
推荐NM-XY-100X纳米定位控制器
NM3220
NM-XY-100X纳米定位主要特点
◆ >100微米运动范围，高于纳米级分辨率；
◆ 振荡频率>350HZ；
◆ 0.005%磁滞、线性度；
◆ 高带宽(>50Hz)响应时间短；
◆ 现场扫描最优化；
◆ 需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统；
◆ NM-XY-100A为特殊钢材外壳；NM-XY-100B为铝质外壳；