采用电子显微镜进行纳米操作,在硬件装备中有一项关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和精确定位。要实现这项关键技术,高精度控制系统是非常重要的。传感器的使用是闭环控制中必不可少的一环，传感器的精度决定着系统的精度。
而对于缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容位移传感器进行检测比较适宜，主要是这类传感器具有以下突出优点：测量范围大、灵敏度高、动态响应快、稳定性好。（注：电容位移传感器是迄今为止精度最高的。）
下面我将为大家介绍一款电容位移传感器：深圳市真尚有科技有限公司的ZNXsensor型超精密电容位移传感器（双通道电容传感器），这是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。ZNXsensor电容位移传感器应用领域主要为：压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
其主要特点有：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；
真空兼容选项；