经济型气体质量流量控制器和流量计 适用于洁净气体FMA3100系列
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可测量最大流速为10 SLM
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0 ~ 5 Vdc线性输出
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具成本效益
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FMA3100系列质量流量传感器代表着质量流量传感器技术领域的突破。先进的电子器件、紧凑的
机械设计以及批量生产加工理念在这一高性能、低成本的产品中集中体现。气体流量传感器适合
多种OEM应用。0 ~ 5 Vdc线性输出作为标准输出信号。
FMA3200质量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100热式质量流量传感器提供精确、稳定
的气体流量控制。在断电模式下，流量控制阀关闭，同时泄漏率最低。这种具成本效益的控制器是
众多OEM应用的理想之选，它提供0 ~ 5 Vdc线性输出并接收0 ~ 5 Vdc的控制输入。
FMA3300在FMA3100流量计功能的基础上增加了一个可调节3位半数字LCD数字显示仪表，用于查看
以工程单位（即mL/min或L/min）显示的流量。已经证实，这些紧凑型流量计在很多实验室应用中效果显著。
规格:
输出： 0 ~ 5 Vdc（最小值2500 ?）
输入设定电压
（仅FMA3200）： 0 ~ 5 Vdc
精度： 满量程的±1.5%*
重复性： 满量程的±0.5%
响应时间： 在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒（常规）达到设定流速的±2%内
工作环境： 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，无冷凝空气
工作压力范围： 25°C (77°F)时达到最大值150 psi
温度系数： 每°C为±0.2%
压力系数： 每psi为±0.02%
泄漏完整性： 对于外界环境，最大值为1x10-4SCCS氦气
输入电源：
FMA3100和FMA3300： 12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)
FMA3200： 12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)
连接口： 流速达到1 L/min时，采用?"压合接头；流速达到5 L/min时，采用?" 压合接头；
流速达到10 L/min时，采用?"压合接头
接液材质： 阳极氧化铝、氟橡胶O形圈、304和316不锈钢、环氧树脂、乙缩醛压合管接头（标配）
量程比： 10:1
气体： 大部分洁净、干燥气体（例如，空气、氮气、二氧化碳、氩气、氢气、氦气、甲烷、氧气）
过滤：如果气体中含有任何颗粒物质，需要使用20微米过滤器
规格（FMA3200流量控制器）
压差： 15 ~ 40 psi
阀门工作寿命： >1百万次循环；阀门处于常闭状态
阀门处的泄漏率： 0.2 SCCM或低于满量程的2%，以较大值为准
控制量程： 50:1
远程设定电压： 0 ~ 5 Vdc
重量：
FMA3100： 199 g (0.44 lb)
FMA3300： 249 g (0.55 lb)
FMA3200： 386 g (0.85 lb)
不带接头的尺寸（近似值）：
FMA3100： 47（长）x 26（宽）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300： 47（长）x 26（宽）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200： 81（长）x 26（宽）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")
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